ASM340 德国普发PFEIFFER氦质谱捡漏仪 大抽速检漏仪
产品对比参数:
brand type |
Varian VS |
Leybold XL 300i |
Pfeiffer ASM 340 |
pic |
|
|
|
backing pump |
11.6 |
2.5 |
15 |
turbo speed |
1.8 |
2.5 |
2.5 (Pfeiffer turbo) |
min.leak ratevac.test(mabrl/s) |
1.E-12 |
5.E-12 |
5.E-12 |
min.leak ratesni.test(mabrl/s) |
1.E-08 |
1.E-07 |
5.E-09 |
inlet pressure(mbar) |
13.3 |
15 |
25 |
解释: backing pump(m3/h) , 这是分子泵的前级泵, 抽速越大越好, 响应时间会更快.
turbo speed(l/s), 这是分子泵抽速参数, 越大越快
min.leak rate vac.test(mabrl/s), 在真空测试的模式下, 的泄露率, 数字越小越好
min.leak rate sni.test(mabrl/s), 在吸枪测试的模式下, 的泄露率, 数字越小越好
inlet pressure(mbar), 进气测试压力要求, 数字越大越好
(Pfeiffer turbo), Pfeiffer是分子泵的发明者
我们从上表可以看出, 德国Pfeiffer的ASM340性能上还是的.