横河电机推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。

• 用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制
• 用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量

• 测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸

• 特性

  使用寿命长，响应速度快

  • 由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术，传感器的寿命周期提高了三倍
  • 圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应

  高性能和高可靠性

  • 即使在低氧浓度下，仍具有极高的精度和线性
  • 在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式

  内置功能和多种自诊断功能

  • 自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能
  • 提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误

  出众的维护性

  • 可现场更换传感器
  • 小型轻量，易于安装

  规格

  测量对象	惰性气体中的氧气浓度 (易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)
  测量系统	氧化锆系统
  采样方法	泵式，抽提式等
  样气条件	流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器) 温度: 0~50℃(无结露) 湿度: 无结露 压力: 0~300PaG 容许压力: 30kPaG
  测量量程	0-10ppm O2至0-100vol% O2
  输出量程	自动: 0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%(默认)其他: 可设为0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整数 固定: 设为0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100% 部分: 可设置下限值或上限值
  模拟输出	2路输出， : 4～20mA DC(负载电阻: 550Ω) 二次: 可选为0~1，0~5，0~10V DC(负载电阻: 10kΩ或更大)
  接点输出	报警输出2点: 错误接点，O2浓度报警接点 指定量程范围输出1点: 接点输出 多选择器(选配件): 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出
  接点输入	1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF
  自诊断	错误(故障): 传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止 报警(警告): 加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限
  串口通信	RS-232，38400 bps
  标定方法	(1)3点: 10ppm，1000ppm，空气，(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定
  暖机时间	20分以内
  电源	100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz
  功耗	100～120V AC，200VA ，220～240V AC，400 VA
  尺寸	213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm
  质量	约5kg
  管线连接	气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹
  环境条件	安装条件: 室内，盘装或壁装，非易燃区域 环境温度: 0～40℃，无结露 环境湿度: 5～85%RH 储存温度: -5～50℃
  符合的安全标准 和EMC标准	安全标准: 61010-1:2001 EMC: EN 61326-1 Class A，Table 2(用于工业现场) EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

  特性

  重复性	±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%)
  线性	±2%F.S. ±3%F.S.(0~100ppm或更低)
  响应时间	90%响应 10秒内(0~1%或更高) 30秒内(小于0~1%)
  漂移	±2%F.S./周